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光陰極制備系統(tǒng)是一種用于制備高亮度光陰極的裝置,廣泛應(yīng)用于自由電子激光器、電子顯微鏡和加速器等領(lǐng)域。光陰極是指通過光激發(fā)在半導(dǎo)體材料或金屬表面釋放電子的器件,在一系列高能物理實(shí)驗(yàn)和應(yīng)用中起著重要作用。光陰極制備系統(tǒng)通常由以下幾個(gè)關(guān)鍵部分組成